半導體制造高低溫一體機在生產(chǎn)需要控制溫度工藝中可以有效的提升設(shè)備的工作效率，可與多種儀器配套使用，制冷量大制冷速度快，降低了所需的能耗。

　　1、對于廠房中所須的工藝管道而言，管道的連接設(shè)計原則應當盡可能減少出口連接件的數(shù)量，以防止因為管道連接件的損壞導對整個設(shè)備的破壞。

　　2、電源采用三相四線、電源線接電源火線，接零線，接地線。機組用主電源線線電控箱上的穿孔連接在箱內(nèi)接柱上，保證連接緊固。

　　3、設(shè)有電流過載保護、壓縮機排氣端之高低壓保護，馬達線圈過熱保護、防冰保護，冷卻水之水流連鎖保護等多種措施，控制電路。切勿擅自改動。

　　4、吊運安裝時注意不要損壞機組。到達用戶的項目現(xiàn)場的時候，移動注意避免設(shè)備受到撞擊，注意顯示屏是否受到損壞。

　　5、對于設(shè)備周身的各個接口、按鍵、屏幕做一定的了解再操作。設(shè)備在使用過程中需要嚴格按照設(shè)備說明書進行使用，按照使用維護保養(yǎng)進行操作，否則會影響高低溫一體機的使用壽命。

　　6、設(shè)備使用之前，開機先檢查設(shè)備是否處于正常狀態(tài)，制定定期的保養(yǎng)檢查計劃。

　　7、打開電源，控制器處于顯示和所有輸出關(guān)閉狀態(tài)，點擊“電源"鍵，進入到正常工作狀態(tài)。溫度設(shè)定完畢后打開“循環(huán)"鍵，此時可對設(shè)備進行加液。使用設(shè)備時要打開循環(huán)鍵，加熱和制冷方才能起作用，否則加熱和制冷無效。

8、選擇導熱介質(zhì)需要注意其溫度范圍是否符合項目的工況要求，是否適合設(shè)備使用，一般情況可咨詢廠家該型號是否適合以及溫度上限和下限，燃點，粘度，冰點等是否符合要求，以及是否適合儀器內(nèi)部管道的使用。